「装置がパワーを決める」ケースレーインスツルメンツ（株）社長嶋崎のインタビュー記事

○パワーデバイス用測定器で二十数年
○2013年パワデバ向けで10億円標榜

１９４６年にオハイオ州クリーブランドの地に誕生して以来、試験・測定分野に特化したさまざまなシステムを創出し続けているケースレーインスツルメンツ（米国オハイオ州、日本法人＝ケースレーインスツルメンツ㈱　東京都港区海岸１―11―１、電話０３―５７３３―７５５５）。９０年初頭パワーデバイスの市場に注目し測定装置販売を開始して以来、右肩上がりで伸長している。

　パワーデバイス向け試験ソリューションの中でも、ロングラン商品となっているのが基本測定器「２３７型高電圧ソースメジャーユニット」。約二十数年の長寿命を実現している同測定器は、日本だけですでに累計１０００台の納入実績を持つ。

「２３７型は最大電耐圧１１００Ｖ（差動で２２００Ｖ）までのパワーデバイス製品をＩ―Ｖ（電流―電圧）測定する。サブピコＡ（アンペア）の漏れ電流測定を実現する点が高く評価されている。当社のパワーデバイス関連ソリューションは、ボリュームゾーンの耐圧６００Ｖ～１２００Ｖ帯のＩＧＢＴ、もしくは高耐圧パワーＭＯＳＦＥＴで用いられるケースが多く、パワーデバイス関連売上高の約80％はこのボリュームゾーン向けである」（日本法人　代表取締役社長　嶋崎文雄氏）。

　この他に、パワーデバイス向け基本測定器として２４００シリーズを６システム、２６００Ａシリーズを６システム、２４８型高圧電源（最大５０００Ｖ）のラインアップを揃え、最大電流４０Ａ、最大電圧５０００Ｖをカバーしている。また１３００Ｖまでの高耐圧スイッチ切換えが可能なスイッチング・マトリックス７０８Ａなども用意している。パワーデバイスの測定では、ブレイクダウン電圧、リーク電流、Ｉ―Ｖ測定、Ｃ―Ｖ（容量―電圧）測定などが必要不可欠だという。

　同氏は、今後のパワーデバイス向け測定器における改善点として、電流値および最大電圧の向上を挙げる。

「現状のラインアップでの最大電流は40Ａである。しかし、車載向けなどのお客様はこれ以上の電流値を望んでおり、１００Ａ程度までの拡大を早期に実用化する必要を感じている。11年～12年には実現させたい。ただし、１００Ａで正確な測定を実現することは容易ではなく、高度な回路設計を要する。たとえば、ＤＣをかけるとプローブが焼けてしまう、パルス幅を小さくするなど、さまざまな課題をクリアーしなければならない。また、最大電圧を現状から大きく引き上げる方向で開発を進めている。」

　一方、今後は、ＳｉＣなどの新材料によるパワーデバイスでの信頼性特性測定の要求が高まると同社では見る。すでに、ＡＣＳ（統合テストシステム）―Ｂａｓｉｃというソフトを組み込んだラック＆スタック型特性評価カスタムシステムや、最大１２８個のデバイスを同時測定可能な「Ｓ５００」WLR測定システム、１０００Ｖ対応の量産用ターンキーシステム「Ｓ５３０」も提供するなど、先々のニーズに対応した製品群を投入し続けている。

　また、社内に蓄積のあるウエハーマッピング用の標準ソフトを活かし、ＳｉＣ、ＧａＮ向けに技術展開を図っている。ＳｉＣ、ＧａＮ向けでは累計で50～60の研究所・企業に納入実績があり、今後も拡大が見込めそうだ。08年あたりから、新材料でも特性評価に加えて信頼性評価ニーズが車載向けを中心に高まっているという。
　同社の設計開発部隊および生産部隊は、本社米国のクリーブランド工場に一貫で構築されている。また、ソフト開発部隊は中国の北京に集結している。一方、日本にはアプリケーションエンジニアが常駐し、日本の顧客ニーズに即したカスタム対応や、デモルームでの顧客対応などを担当する。日本のデモルームは日本法人と同オフィスの地下に１年前に設置された。パワーデバイスを直に持ち込んで測定を行う事例もあるという。

　同社では今後も、パワーデバイス用に期待をかける。
「全社売上高のうち約25％をパワーデバイス向けが占めており、主力事業のひとつとなっている。半導体、ワイヤレス向けなどが減速する中、パワーデバイス向けは今後も年率25％伸長が見込める。パワーデバイス向けだけで10年は約５億円の売り上げを見込んでいるが、13年には同10億円を目標に掲げている。世界に冠たるパワーデバイスメーカーが集積する日本は当社の主力市場であり、日本法人の果たす役割は高い。今後もお客様の測定ニーズに最適な測定ソリューションを提供しながら、パワーデバイスの品質向上、高効率化に寄与していく。」（嶋崎氏）