ケースレーが、4200-SCS型をアップグレード 太陽電池向けの試験機能、C-V試験の周波数範囲、９個までの測定スロットを追加

2009年4月２０日―先進電子計測器、システムの世界的リーダであるKeithley Instruments, Inc. (NYSE: KEI)は、数々の賞を受けているケースレー4200-SCS型半導体特性評価システムに、ハードウェア、ファームウェア、ソフトウェア上の広範な拡張を行い発売しました。KTEI（Keithley Test Environment Interactive）V7.2アップグレードは、9個の太陽電池の新しい試験ライブラリ、容量－電圧測定の周波数範囲拡大および9個の測定スロットを持つ新しい4200-SCS型メインフレームをサポートします。
KTEI V7.2に含まれる新しい試験ライブラリは、太陽電池のI-V、C-Vおよび抵抗率試験機能を拡張します。これらは、代替エネルギー技術に対する注目が高まり公的支援も計画される昨今、重要なソリューションといえます。ソフトウェアアップグレードにより、従来の方法では正確には実行できなかった太陽電池試験手法である容量の駆動レベル依存性（DLCP：Deep-Level Capacitance Profiling）をサポートします。DLCPは薄膜太陽電池の欠陥密度情報を提供します。2007年11月に発表された既存の4200-CVU型 容量－電圧ユニットはこの試験テクニックをサポートするように変更することができます。

4200-CVU型の周波数範囲は、DLCP試験を行えるように10kHz～10MHzから1kHz～10MHzに拡大されました。この拡大により応用範囲が広がり、フラットパネルLCDや有機LED（OLED）などの有機半導体の試験にも使えるようになります。（周波数を拡大したモデルは4210-CVU型となり、今後は同型が標準になります。）

試験の柔軟性と機能を高度に要求する4200-SCS型のユーザは、I-V、パルス、C-V特性測定の要求の高まりとともに、その4200-SCS本体メインフレームが多少混みあってきていると認識しています。この状況を背景に、V7.2アップグレードでは、9つの測定スロットまで使えるメインフレームをサポートします。以前は、4200-SCS型の印加‐測定ユニット(SMU)、パルスジェネレータ、スコープカード、容量‐電圧測定カードを搭載するため8スロットでした。既存の4200-SCS型は９スロット型にアップグレード可能です。今後の4200-SCS型は9スロットが標準になります。

V7.2アップグレードと同時に、ケースレーは4200-SCS型をプローバに接続するための新しい高性能トライアキシャルケーブルキットを発表しました。これによりDC I-V、C-V、パルス試験の各構成間の変更が簡素化されます。この新しいケーブルキットを使うと再配線をする必要がなくなり、配線間違いで発生する測定誤差をなくせます。現在、カスケード・マイクロテック社のプローバ用とズース・マイクロテック社のプローバ用の2種のケーブルキットが提供されています。
システム拡張の継続で連続的な生産性向上をお約束
ケースレーの4200-SCS型は、各種の単一機能的な電気特性試験ツールを代替でき、信頼性研究、材料・デバイス研究開発や、DCやパルスの測定が必要な広い研究における、半導体技術開発、プロセス開発、材料研究など広範なアプリケーションに最適です。ケースレーは4200-SCS型システムのハード・ソフトをその発売以来、連続的に拡張してきました。この継続的なシステム拡張へのコミットメントが経済的なアップグレードパスを保証するので、旧型が廃止されたために新しいパラメータアナライザを再度購入する必要がありません。システムが、進化する試験ニーズに経済的かつタイムリにアップグレードされるので、4200-SCS型での設備投資は、競合の試験ソリューションに比べて大幅に少なくて済みます。

半導体デバイス特性、パラメトリック試験のリーダであるケースレーインスツルメンツ株式会社は世界中のお客様に電流-電圧（I-V）、容量-電圧（C-V）そしてパルスI-Vの測定・解析に対する広範な柔軟ソリューションを提供しています。ベンチトップ測定器からターンキーシステムまでの広い製品群を擁し、材料解析、デバイス特性評価、ウェーハレベル信頼性、プロセスコントロールなどに使われています。ケースレーは半導体技術の分野ですぐれたスキルを有するアプリケーションエンジニアやサービスセンタを通して世界の半導体顧客と緊密に連携して業務を行っています。
価格と納期
KTEI バージョン7.2 は、既存の4200-SCS型のユーザに対して無償です。しかし、4210-CVUに改造して校正する場合や既存の4200-SCS型を９スロットメインフレームにアップグレードするのは有料になります。新しい高性能ケーブルセット 4210-MMPC-S型 （ズース・マイクロテック社プローバ用）および 4210-MMPC-C 型（カスケード・マイクロテック社プローバ用）はマニピュレータ当り124,000円です。
お問い合わせ先
今回のアップグレードやKTEI V7.2など、またそのほかのケースレーの半導体試験ソリューションの詳細については、http://www.keithley.jp/products/semiconductor を参照ください。また、以下にお問い合わせいただけます。

ケースレーインスツルメンツについて
半世紀以上にわたり世界の計測をリードしてきたケースレーインスツルメンツは、工程管理、製造試験、開発設計、基礎研究での計測需要に応える電気測定ソリューションを DC から RF まで幅広く提供しています。ケースレーの先進のハードウェア、ソフトウェアは、全世界の技術者、研究者によって、最先端の材料研究、半導体デバイス、ウェーハ特性評価、電子部品やワイヤレスデバイスをはじめとする最終製品製造試験など、さまざまな場面で使用されています。ケースレーは、強みである測定技術とアプリケーションノウハウを併せ持つことにより、世界中のお客様の製品やプロセスの改善、市場投入時間の短縮を図るための支援を行っています。