半導体プローバ・特性評価システム間の多種信号接続ソリューションを ケースレーがはじめて実現し、販売開始

2009年4月２０日―先進電子計測器、システムの世界的リーダであるKeithley Instruments Inc.(NSE:KEI)は、I-V、C-VそしてパルスI-V信号を一つのケーブルセットで扱える試験業界ではじめてのケーブルソリューション（特許申請中）を発表しました。新しいケーブルキットは、申請特許による設計で、DC電流-電圧 (I-V)、容量-電圧(C-V)、そしてパルスI-V試験のために最新の半導体パラメータアナライザをカスケード・マイクロテック社またはズース・マイクロテック社のプローバに接続するプロセスを飛躍的に簡素化します。ケーブルはケースレーの4200-SCS型 半導体特性評価システムをはじめ、他の評価用の試験計測器に合うように設計されています。

これらの高性能トライアキシャルケーブルキットの設計は、測定タイプをひんぱんに切り替えなければならない特性測定時に理想的といえます。これらの新しいケーブルキットは、測定のタイプを切り替える時に再配線する必要がなくなり、しばしば起こる配線間違いによる測定誤差をふせげます。2種のケーブルキットが用意され、それぞれカスケード・マイクロテック社のプローバとズース・マイクロテック社のプローバ用として最適化されています。

半導体デバイスの電気的な特性評価とそれらの製造段階のプロセスを理解するには、DC I-V、C-V、パルスI-V測定など多くの測定が必要とされます。これらの測定タイプをひとつの特性評価システムで実現するための最も重要な課題のひとつは、それぞれのタイプが基本的に異なる配線に対する要求を持つことです。C-V測定は、信号が遭遇する特性インピーダンスを制御するために通常、外皮を相互接続した4本の同軸ケーブルを使ってなされます。パルス測定では、3つの測定タイプのなかで最も高いバンド幅が必要で、DUTからの反射やソースからの反射を防ぐために配線の特性インピーダンスをソースインピーダンスと合わせなければなりません。

ケースレーの新しいケーブルキットは、このような異なる要求を想定して設計されました。どのタイプの測定がなされようとプローブマニピュレータへの配線を変更する必要がないようになっています。すなわち、ケーブルは一つの測定器への接続から他の測定器へと簡単につなぎかえられ、I-V測定、C-V測定そしてパルスI-V試験の間の切り替えを飛躍的に容易にします。これによりデバイス特性評価プロセスを簡素化できます。
加えて、セットアップの変更はプローブ針がウェーハにコンタクトしている時でも行えるので、パッドへの損傷を低減し3つのタイプの測定に対して同じ接触インピーダンスを保持できます。

システム拡張の継続で連続的な生産性向上をお約束
ケースレーの4200-SCS型は、各種の単一機能的な電気特性試験ツールを代替でき、信頼性研究、材料・デバイス研究開発や、DCやパルスの測定が必要な広い研究における、半導体技術開発、プロセス開発、材料研究など広範なアプリケーションに最適です。ケースレーは4200-SCS型システムのハード・ソフトをその発売以来、連続的に拡張してきました。この継続的なシステム拡張へのコミットメントが経済的なアップグレードパスを保証するので、旧型が廃止されたために新しいパラメータアナライザを再度購入する必要がありません。システムが、進化する試験ニーズに経済的かつタイムリにアップグレードされるので、4200-SCS型での設備投資は、競合の試験ソリューションに比べて大幅に少なくて済みます。

半導体デバイス特性、パラメトリック試験のリーダであるケースレーインスツルメンツ株式会社は世界中のお客様に電流-電圧（I-V）、容量-電圧（C-V）そしてパルスI-Vの測定・解析に対する広範な柔軟ソリューションを提供しています。ベンチトップ測定器からターンキーシステムまでの広い製品群を擁し、材料解析、デバイス特性評価、ウェーハレベル信頼性、プロセスコントロールなどに使われています。ケースレーは半導体技術の分野ですぐれたスキルを有するアプリケーションエンジニアやサービスセンタを通して世界の半導体顧客と緊密に連携して業務を行っています。

価格と納期
2つのケーブルキットが現在入手可能です。高性能ケーブルキット 4210-MMPC-S型 （ズース・マイクロテック社のプローバ用）および 4210-MMPC-C 型（カスケード・マイクロテック社のプローバ用）で、マニピュレータ当り124,000円です。
お問い合わせ先
今回のアップグレードやKTEI V7.2など、またそのほかのケースレーの半導体試験ソリューションの詳細については、http://www.keithley.jp/products/semiconductor を参照ください。以下にもお問い合わせいただけます。

ケースレーインスツルメンツについて
半世紀以上にわたり世界の計測をリードしてきたケースレーインスツルメンツは、工程管理、製造試験、開発設計、基礎研究での計測需要に応える電気測定ソリューションを DC から RF まで幅広く提供しています。ケースレーの先進のハードウェア、ソフトウェアは、全世界の技術者、研究者によって、最先端の材料研究、半導体デバイス、ウェーハ特性評価、電子部品やワイヤレスデバイスをはじめとする最終製品製造試験など、さまざまな場面で使用されています。ケースレーは、強みである測定技術とアプリケーションノウハウを併せ持つことにより、世界中のお客様の製品やプロセスの改善、市場投入時間の短縮を図るための支援を行っています。