ケースレーが半導体特性評価システム用パルス測定ソリューションを新発売

報道関係各位

ケースレーインスツルメンツ株式会社

マーケティング

            さとうかなえ

            佐藤香苗

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クリーブランド – 2005年7月12日 – 先進電子計測器、システムの世界的リーダーであるKeithley Instruments Inc.（NYSE：KEI）は、この度4200-SCS型半導体特性評価システム用の『パルス発生/測定オプションパッケージ』の発売を開始した。小型カードに新しいPIV (パルスI-V)機能を集約し、測定品質を改善することで、high-k材料、感熱デバイス、先端メモリチップなどの市場投入期間を短縮する。このパッケージは業界初のトータルパッケージで、正確で再現性高いパルス＆DC測定を簡単に行う、待望の市販ソリューションである。

PIVパッケージはケースレー4200-SCS型半導体特性評価システムのオプションとして用意されている。4200-SCS型は、研究室グレードのDCデバイス特性評価、リアルタイムプロット、高精度サブフェムトアンペア解析を実現している。4200-SCS特性評価システムはWindows XPに大容量ハードディスクを搭載した組み込み型PCベースのシステムである。

パルス測定のニーズ

65nmノード以下のデバイス問題として、high-kチャージトラッピングやSOI (シリコン・オン・インシュレータ)デバイスの自己発熱などがある。新材料やデバイスをその影響を受けずに特性評価するにはDC印加/測定以外の測定テクニックが必要である。先端技術の開発者はパルス試験のニーズを認識していたものの、簡単、正確で再現性の高いパルス測定ソリューションがパッケージとして市販されておらず苦労していた。4200-SCS PIVパッケージは、パルス発生、パルス測定を統合ソフトウェア「KTEI」*が厳格に制御し、デバイス接続を簡単にするだけでなく性能劣化をも防ぎそれらの問題を解決する。ユーザは、測定器のラック収納、煩雑で性能劣化の原因となる結線、ソフトウェアの内製、信憑性に疑問がある測定結果に煩わされることがなくなる。ケースレーの定評ある4200-SCS型半導体特性評価システムにこの新しいパルス機能を組み込み、統合ソフトウェア「KTEI」のもと、正確なDC＆パルス測定を一台で行える統合システムが提供される。

4200-SCS型用の新しいパルスI-V機能

PIVパッケージは、独立した2チャンネル・パルスジェネレータカードをベースに構築される。周波数帯域は1Hz〜50MHz。最短10nsのパルスを発生し、SOIデバイスや65nm以下のデバイス＆プロセスで、真に熱の影響を排除したパルス測定を実現。低速ではパルスエッジを厳格に制御でき、チャージトラッピング、ACストレステスト、メモリテストでの精密な印加・測定が可能。ユーザは、パルス幅、デューティ比、立ち上がり/立ち下がり時間、振幅、オフセットなどの各種パラメータを制御できる。パルス発生/測定機能と、世界中で定評あるDC特性評価機能を備えた4200-SCS型半導体特性評価システムの組み合わせは、業界でもユニークでパワフルなシステムとなる。

強力なソフトウェアソリューション

PIVパッケージにバンドルされている革新的な、統合ソフトウェア「KTEI」を使用することで、より正確で再現性の高い測定が行える。統合ソフトウェアとフロントパネル・ユーザインタフェースは、使い方の習得が容易で、だれでも簡単にセットアップし、正確なパルスI-V測定を開始できる。PIVソフトウェアはパルスの発生と測定を制御。本ソフトウェアは、2チャンネルパルスジェネレータの設定/駆動、パルス測定の設定/同期/実行、データ取得と表示を行う。PIVソフトウェアは、独自のケーブル補償アルゴリズム、正確なパルス・スレッシュホールド電圧抽出のために開発されたロードライン補正スキームを採用し、測定の信憑性を最大限に確保する。

このPIVパッケージにはパルスI-V試験、チャージトラッピング試験などのサンプルプロジェクト・コードが添付され、ソフトウェア開発と操作習得に要する時間とコストを削減。また、複数種の試験を1台のワークステーションで行える。

アプリケーション

4200-SCS PIVパッケージは幅広い用途が考えられる。チャージトラッピングなどのhigh-k絶縁膜インテグレーション、SOIやFinFETデバイスなどの65nmノード以下の先端デバイスにおける発熱の問題を解決する他に類をみないユニークなシステムである。その他のアプリケーションとしては、チャージポンピング、ACストレス、信頼性試験、各種パルス/クロック供給を想定している。

4200-SCS PIV パッケージは、半導体の技術開発、製品開発、信頼性研究、材料/デバイス研究の技術者に最適。操作習得が容易で、添付の試験サンプルコードと直感的に使えるソフトウェアが、特性評価にかかる試験時間を短縮し、生産性を改善。ベンチトップタイプのDCおよびパルス印加・測定機能が必要な半導体の研究開発において、4200-SCS PIVパッケージは極めて有益なソリューションである。

スタンドアロンパルス機能

2チャンネル・パルスジェネレータカードは、4200-SCS型組み込みの汎用パルサーとして使用可。汎用パルサーは、故障解析、チャージポンピング、フラッシュメモリテスト、クロック生成のアプリケーションに理想的である。パルスジェネレータカードに添付されるソフトウェアにはユーザフレンドリーなフロントパネルGUI（グラフィカルユーザインタフェース）を採用している。

便利さにみがきをかけたKTEIバージョン6.0

4200-SCS PIVパッケージとともにリリースされた、最新の半導体ソフトウェア「KTEI」バージョン6.0は、その定評ある使いやすさをさらに追求して誕生。お客様からのリクエストをもとに継続的な改良を重ね、現在および将来のニーズに対応。既存の4200-SCSユーザには、バージョン6.0へのアップグレードプログラムが用意されている。

価格と納期：

4200-SCS PIVパッケージは、4200-SCS型半導体特性評価システムとともに購入可。4200-SCS型をすでにお持ちの場合は本パッケージのみの追加購入可。

また、2チャンネル・パルスジェネレータカード単体の購入も可。チャージポンピングやフラッシュメモリテストなどの用途に最適。

PIVパッケージ　￥3,840,000
単体の2チャンネル・パルスジェネレータカード　￥1,280,000
出荷開始は2005年10月。