ケースレーが半導体試験技術ハンドブックを発行

クリーブランド – 2005年7月12日 – 先進電子計測器、システムの世界的リーダーであるKeithley Instruments Inc.（NYSE：KEI）は、この度先端デバイス試験技術に関するハンドブック「Overcoming the Measurement Challenges of Advanced Semiconductor Technologies: DC, Pulsed, and RF—From Modeling to Manufacturing」を発行した。全140ページのハンドブックは、65nmノードへの技術移行に伴い、半導体製造メーカで新たに発生している測定課題について解説している。本書は、http://www.keithley.jp/pr/014　にて、希望者に無料配布している。

本書は、ケースレーのパラメトリック試験とデバイス特性評価に関するエキスパート、および弊社テスタの導入企業での経験を元に記述された。以下の最新の各種技術およびプロセスについて解説している。

n       ウェーハRF試験

n       ゲート絶縁膜信頼性試験

n       チャージポンピング/信頼性

n       高周波容量測定

n       Cu配線ビア試験

n       先進のソースメジャーDC測定

また、巻末には、半導体および試験・測定に関する一般用語集を収録している。

本書をご希望の方は、http://www.keithley.jp/pr/014　よりご請求いただくか、ケースレーインスツルメンツ株式会社、または弊社パラメトリックテスタ販売代理店ハイソル株式会社にお問い合わせください。

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ケースレーインスツルメンツ株式会社

ハイソル株式会社

ケースレーインスツルメンツについて

ケースレーインスツルメンツは無線通信、半導体、ナノテクノロジ、オプトエレクトロニクス、FPD、電子製造など幅広い分野において、光学測定および電気測定のソリューションを DC から RF まで提供しています。ケースレーの先進のハードウェア、ソフトウェアは、全世界の技術者、研究者によって、工程管理、製造試験、開発設計、基礎研究などさまざまな用途で使用されています。

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