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4200-SCS型半導体特性評価システム

パーツ番号: 4200-SCS

主な特徴と利点:
  • ポイント&クリックするだけの直感的なWindowsベース環境
  • ユニークなリモートプリアンプ構造により、SMU の分解能を0.1fA に拡張
  • 先端半導体試験のためのパルス発生/測定
  • パルス測定/スコープ機能を1 枚のカードに集約
  • 組込型PC により、テストの迅速なセットアップ、強力なデータ解析、グラフ表示&印刷、テスト結果のオンボード大容量記憶が可能
  • ユニークなブラウザスタイルのプロジェクトナビゲータによってテストをデバイス毎に整理し、複数のテストへのアクセス、テストのシーケンス制御とループ制御が可能
  • 5 種類のJEDEC 準拠サンプル試験を添付、ポイント&クリックでストレス/ 測定、ループ、データ解析を実行
  • 各種LCR メータ、ケースレーのスイッチマトリックス、ケースレ− 3400 シリーズ、アジレント81110 のパルスジェネレータとの統合サポート
  • カスケード・マイクロテックSummit 12K シリーズ、カールズースPA-200 / PA-300 型、マイクロマニピュレータ8860 型、Signatone CM500 プローバ、マニュアルプローブ用ソフトウェアドライバ付属
  • ケースレーのIC-CAP デバイスモデリングパッケージドライバ、ケイデンスのBSIMProPlus/Virtuoso 、ミルバコのUTMOST デバイスモデリングツールのサポートなど、高度な半導体モデリングのサポート

操作が容易な4200-SCS型半導体特性評価システムは、高精度でフェムトアンペア 以下の分解能で、研究室グレードのDC デバイス特性評価、リアルタイムプロット、解析を実行します。Windows NT オペレーティングシステムと大容量記憶装置を含む組込型PCを装備し、最も高度に機能統合した特性評価システムです。自動ドキュメント作成機能をもつポイント&クリックのインターフェイスによって、データ取得のプロセスは高速化され、簡素化されるため、ユーザは結果の解析をすぐに開始できます。付属の強力なテストライブラリツールにより、テスト方法と抽出法を標準化し、一貫性の ある試験が行なえます。4200-SCS型には、ケースレーとアジレントの各種C-V メータ、パルスジェネレータ、4 種のスイッチマトリックスがオプションで用意されており、拡張性も万全です。

4200-SCS型は、モジュラー設計で、さまざまな構成が可能です。システムは、1A/20W の高電力SMU4 台を標準装備し、最大8台までのソースメジャーユニットをサポートします。オプションのリモートプリアンプ4200-PA 型により、任 意のSMU モデルに5つの電流レンジが追加され、システムの測定分解能を、100fA から0.1fA に拡張します。このプリアンプは、システムと完全に統合されており、ユーザは、プリアンプの存在を意識する必要はありません。

内蔵PC の陳腐化を防止するPCアップグレードサービスも用意しており、卓越したGUI を末長く快適に操作いただ けます。


代表的なアプリケーション:
  • 半導体デバイス
  • オンウェーハパラメトリック試験
  • ウェーハレベル信頼性試験
  • パッケージデバイスの特性評価
  • C-V/I-V 特性評価
  • LCRメータ
  • High Kゲートチャージトラッピング
  • 自己発熱を取り除いた試験
  • 界面チャージトラップの評価
  • MEMSドライブの特性評価
  • オプトエレクトロニクスデバイス
  • 半導体レーザダイオードDC/CW特性評価
  • トランシーバモジュールのDC/CW特性評価
  • PIN/APD特性評価
  • 技術開発
  • カーボンナノチューブの特性評価
  • 材料研究
  • 電気化学