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高感度測定
  ピコアンメータ エレクトロメータ
型 6485　 6487 2502 6514 6517B 6430
電流測定範囲 20fA–20mA 15fA–20mA <1fA–20mA <1fA–20mA 400aA–100mA
特長 500V 電圧源 (6487 のみ) 100V 印加/チャンネル 10fC–20μC 電荷測定 ±1kV 電圧源 リモートプリアンプ付きソースメータ

  ソース‐メジャーユニット(SMU) システムソースメータ 電流アンプ 半導体パラメータアナライザ
2635A型1chシステムソースメータ (1fA, 10Aパルス)
型 237 2635A　 2636A 2400 2410 428-PROG 4200-SCS
電流測定範囲 10fA–100mA 1fA–10A 10pA–1.05A 10pA–1.05A 1.2fA–10mA 10aA–1A (リモートプリアンプおよびハイパワーSMU装着時)
特長 高速印加/測定機能、5桁 半導体試験アプリケーションに最適 汎用 高電圧 電流アンプ 最大9SMUまで構成可能

  電流源 電圧源 ソース‐メジャーユニット(SMU) サブフェムトアンペア・リモートソースメータ システムソースメータ
2635A型1chシステムソースメータ (1fA, 10Aパルス)
型
 6220 6221 248 237 6430 2635A 2636A 2400 2410
最大出力
 ±105mA ±105mA ±5000V (電圧出力) 1100V ±105mA or ±210V 10A, 200V 1.05A, 210V 1.05A, 1100V
特長
 DC のみ AC および DC 高電圧源 波形内蔵 50aA 出力分解能 １または２SMUチャンネル、複数チャンネルの構成に最適 汎用 高電圧

428-PROG型はデジタル化や表示用として微小電流を電圧に変換します。利得は10^3V/Aから 1011V/Aまで桁ステップで調整できます。

 
ナノボルトメータ
デジタルマルチメータ
DMM/スイッチ
型
概要 ナノボルトメータ 8½-桁 DMM 7½-桁 DMM 7½-桁 DMM
DMM/データ収集/スイッチ/データ収録システム
電圧範囲
10mV ～ 100V
200mV ～ 1100V
100mV ～ 1000V
200mV ～ 1100V
100mV ～ 1000V
抵抗範囲
 
100nΩ ～ 1GΩ
1μΩ ～ 100MΩ
1μΩ ～ 1GΩ
1μΩ ～ 120MΩ
熱電対温度
-200°C ～ 1820°C
-200°C ～ 1820°C
-200°C ～ 1372°C
-200°C ～ 1820°C
-200°C ～ 1820°C

卓越した操作性の完全な測定コンビネーション
  • 2182A型と6220型または6221型とを組合せると、1台の測定器のように動作する強力な印加・測定システムになります。
  • 微分コンダクタンス測定の高速な完全ソリューション ― 他より低雑音でＸ10のスピードを実現します。
  • ３ステップのデルタ測定技術で変化する熱起電力による誤差を除去します。
  • 最小50μsまでのパルス抵抗、パルスI-V測定を提供します。
アプリケーションノート
記事