| 微小電流/高抵抗測定ソリューション |
ピコアンメータ |
エレクトロメータ |
ソースメジャーユニット(SMU) |
システムソースメータ |
半導体パラメータアナライザ |
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| 型番 |
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電流測定レンジ |
20fA–20mA |
15fA–20mA |
<1fA–20mA |
<1fA–20mA |
400aA–100mA |
30fA–100mA |
1fA–1.5A |
0.1fA–1A (リモートプリアンプ、ハイパワーSMU付き） |
特長 |
500V印加 (6487型のみ) |
100V印加/チャンネル |
10fC–20μC電荷測定 |
±1kV印加 |
リモートプリアンプ付きソースメータ |
高速印加/測定機能、5桁 |
半導体試験アプリケーションに理想的 |
シャーシは最大8SMUまで構成可 |
| 微小電流/高抵抗測定のための印加ソリューション |
電流源 |
電圧源 |
ソースメジャーユニット(SMU) |
サブfAリモートソースメータ |
システムソースメータ |
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型番 |
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最大出力 |
±105mA | ±105mA |
±1.5V–±5000V (電圧出力) |
最大電圧印加： 1100V (237) |
最大印加：±105mAまたは±210V |
5μV–200V |
特長 |
DCのみ |
ACおよびDC |
高電圧源 |
内蔵波形 |
50aA出力分解能 |
1または2個のSMU/測定器、多チャンネル構成に理想的 |
| 電流アンプソリューション |
428-PROG型 は微小電流を電圧に変換しデジタイズ、表示します。ゲインは、103V/A～1011V/Aで10進で調整可能です。 |
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