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S530シリーズ　パラメトリック試験システム

パーツ番号: S530

主な特徴と利点:
  • 最もコスト効率の高い全自動のパラメトリックテスタ
  • 柔軟性と効率的なテストプラン作成が最重要とされる多品種デバイスの試験への応用に最適化
  • 3つのシステム構成から選択可能
  •      汎用のプロセスモニタ用途には基本構成システム
  •      サブミクロンのシリコンMOSテクノロジの特性測定には低電流構成システム
  •      カーエレクトロニクスやパワーマネジメントのデバイス製造プロセスのモニタ用には高電圧構成システム
  • よく使われるフルオートプローバと連動
  • ケーブル接続済みのテスタ構成にするとプローバとの接続が柔軟になり電圧範囲を拡張可能
  •      ケースレーの9139A型プローブカードアダプタに適合
  •      既存の５インチプローブカードライブラリの再利用をサポート
  • 確立された計測技術が、研究開発でも製造試験でもすぐれた測定確度およびリピータビリティを保証

ケースレーの新しい製品ラインであるS530シリーズ パラメトリック試験システムは、定評ある印加測定技術に基づいて開発され、プロセス制御のモニタ、プロセス信頼性のモニタ、デバイスの特性測定で必要なすべてのDC, C-V測定を行えます。 ケースレーは、世界中の半導体業界への標準またはカスタムのパラメトリック試験システムでの広範な経験を30年以上積み重ねています。