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半導体特性評価ソフトウェア(ACS)

ACSとは?

ACSは、半導体デバイスの詳細な特性評価における、広範囲なテストを実行するための強力なソフトウェア・フレームワークです。業界トップクラスの豊富な製品ラインアップを揃えたSMU(ソース・メジャー・ユニット)とシステムとともに使用します。ウェーハまたはカセット・レベルでプローバを自動制御する自動テストでは、標準のACSを使用します。マニュアルまたは単体デバイスのテストではACS Basicエディションが適しています。さらに、マルチDUTのWLR(Wafer Level Reliability)では、標準のACSとオプションのACS-2600-RTM型を使用します。 さまざまなアプリケーション、測定ハードウェア、ACS機能の詳細については、以下でご確認ください。


ダイ・ソート

ケースレーは、半導体コンポーネント、センサ、MEMS、小規模のアナログICのオンウェーハでの高速のダイ・ソート(またはKGDテスト)ソリューションを提供しています。デバイスは、高感度SMUまたはI-V測定でテスト、選別されます。以下に、ケースレーの豊富な測定機能と概要について説明します。

概要

ACSソフトウェア
ACSソフトウェア

ACSは、オンウェーハのダイ・ソート・テストのための広範囲なフル・オート・プローバをサポートします。ウェーハあたり数千のダイを含むウェーハ・マップ、プロジェクトを作成します。ACSは、テスト中におけるマルチDUTの統計値、実行時間におけるビニング解析を表示します。詳細情報

System SourceMeter SMU Instruments - Series 2600B
2600B SMU family

2600シリーズSMUは、ケースレーのオンウェーハ・ダイ・ソート・システムの中心的存在です。ケースレーのTSP(Test Script Processor)技術を使用した、同期のとれた複数のSMUチャンネルにより、複数のデバイスの高速同時テストが可能になります。1fAから100A、100nVから3kVまで、さまざまな電流、電圧レンジに対応した機種が用意されています。詳細情報

S500型統合試験システム
S500

S500型統合試験システムは、パラレル・デバイス・オンウェーハ・ダイ・ソート試験において、最大44のソース測定チャンネルを構築できます。2600シリーズSMUをベースに構築するS500型は、すべてのデバイスにおける高速の同期測定を行うフル・ターキー・システムです。詳細情報

パラメトリック・テスト

ACSは、プロセス・コントロール・モニタ(PCM)などのアプリケーションで使用されます。優れた対話形式のGUIであるため、さまざまなセミカスタム・ハードウェア構成の少量または実験室アプリケーションに適しています。

概要

ACSソフトウェア
ACSソフトウェア

ACSは、すべてのウェーハの半導体コンポーネント測定のための数多くのセミオート/フルオート・プローバをサポートします。または、個々のデバイスのテストにおいて、対話形式でプローバをコントロールします。テスト結果の様子は、個々のデバイスの結果、複数のデバイスの統計値として実行時に表示されます。詳細情報

S500型統合試験システム
S500

S500型統合試験システムは、ケースレーのS530型パラメトリック試験システムの持つ、標準構成外のパラメトリック測定要件に対応したカスタム構成が可能です。豊富な測定機能を持った計測器、スイッチングの有無などのシステム構成が選べます。詳細情報

S530型パラメトリック試験システム
S530

迅速、正確な測定のため、S530型パラメトリック試験システムはシステムレベルの仕様、診断機能、SEMI仕様の適合性を含んでいます。KTEはS530型標準のソフトウェアですが、ACSソフトウェアを使用することで、実験室またはオフライン環境において対話形式で使用できます。詳細情報

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